首台12英寸化学机械抛光机交给

  本报北京8月4日电 （记者余荣华）集成电路范畴的高端配备国产化进程又进一步。记者今日从清华控股有限公司得悉：由清华大学科技成果成功转化的国内首台12英寸化学机械抛光机近来交给使用。

  化学机械抛光是使用非物理性腐蚀和机械效果对工艺流程中的晶圆进行平整化处理，然后便利取得纳米级其他平整外表，是集成电路制作工艺中的五大关键技术之一。在国家科技严重专项“极大规划集成电路平整化工艺与资料”的支持下，清华大学研发出了国内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机，首要技术指标到达或许超越国外最先进产品的水平。